渦輪分子泵故障處理主要包括以下幾個方面：1.極限真空度低的處理方法。當(dāng)發(fā)現(xiàn)極限真空度過低時，首先要檢查前級泵的匹配情況和抽氣量是否充足；其次要查找系統(tǒng)是否存在漏氣現(xiàn)象并進(jìn)行消除操作；還需要對渦輪分子泵進(jìn)行烘烤除氣的處理（溫度不應(yīng)高于150℃）。如果以上措施都無效的話就需要考慮更換新的設(shè)備了。此外也要注意在使用過程中要避免光照或者熱源的影響導(dǎo)致溫度升高從而降低工作效率以及損壞設(shè)備等問題發(fā)生哦！2.泵體及轉(zhuǎn)子發(fā)熱、葉片變形的處理方法為避免在磁場中運轉(zhuǎn)或者在必要時使用隔磁材料來降低影響程度，當(dāng)然啦也要記得定期檢查水冷或風(fēng)冷系統(tǒng)的運行狀況是否正常，如果發(fā)現(xiàn)異常就要及時進(jìn)行維修或更換相關(guān)部件才行。