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維修Edwards進口分子泵時需要注意什么？ 幫忙解答一下
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  • 檢查真空表是不是出現了問題，Edwards進口分子泵出口是否打開，機械泵油是否太臟，機械泵是否旋轉，系統(tǒng)是否漏氣。分子泵的葉片或轉子也可能損壞。您可以使用自己的工具移動刀片來判斷它是否可以旋轉。分子泵加速指示燈不亮。電路板上的保險絲被燒毀了。更換保險絲或檢查是否有短路。
  • Edwards進口分子泵不能在大氣中打開，必須在達到10Pa時打開。 打開相應的高壓閥以啟動分子泵
  • 當Edwards進口分子泵未啟動時，檢查前級泵和電磁閥是否正常工作。當分子泵發(fā)生故障時，必須根據故障提示進行處理。
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