Leybold分子泵低噪音，低振動(dòng)。結(jié)構(gòu)緊湊，體型小，節(jié)省空間。在低壓強(qiáng)下仍能保持高的抽速。 全文

排除方法：1.低于150攝氏度長(zhǎng)時(shí)間烘烤去氣2.冷卻水溫應(yīng)低于14攝氏度，運(yùn)轉(zhuǎn)中保證冷卻系統(tǒng)正常工作 全文

渦輪分子泵是一種利用高速旋轉(zhuǎn)葉片與氣體分子動(dòng)量交換原理工作的真空泵，主要應(yīng)用于需要快速獲得高真空或超高真空環(huán)境的領(lǐng)域。其優(yōu)勢(shì)在于清潔無(wú)油、抽速快、極限真空度高（可達(dá)10^-7至10^-11 Pa），是.. 全文

封式旋片泵（即油泵）極限真空能到達(dá)10-3mbar，但油泵容易產(chǎn)生返油倒吸的問(wèn)題，如果沒(méi)有控制返流的安全閥，或者不合理的放氣程序都會(huì)引起油蒸汽的返流，不合要求的安全閥也會(huì)引起油污染，從而導(dǎo)致分子泵提供.. 全文