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有誰知道：維修Edwards進口分子泵時需要注意什么？

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Edwards進口分子泵不能在大氣中打開，必須在達到10Pa時打開。打開相應的高壓閥以啟動分子泵
Edwards進口分子泵每次停機后，必須清洗每個分子泵的入口，以保持其清潔，以避免不必要的損壞。
當Edwards進口分子泵未啟動時，檢查前級泵和電磁閥是否正常工作。當分子泵發(fā)生故障時，必須根據(jù)故障提示進行處理。

樓主請問：愛德華分子泵控制器怎樣維修？

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有誰知道：Edwards二手分子泵有什么維修方法？在線等

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Edwards真空泵的工作原理是什么？教期待大神解答

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