




二、東元伺服在固晶機(jī)的應(yīng)用???????固晶機(jī)上總共采用4套200W伺服(JSDA-15A搭配JSMA-SC02ABK)和2套100W伺服(JSMA-15A搭配JSMA-SC01ABK),分別控制X,Y軸傳動機(jī)構(gòu)以及鍵合臂取晶動作。其中要求的為控制鍵合臂的100W伺服。
三、伺服動作要求???????100W伺服電機(jī)通過同步帶帶動連桿快速正反轉(zhuǎn)實現(xiàn)裝有吸晶咀的鍵合臂做逆時針和順時針方向位移,逆時針到位后吸晶咀吸取晶元然后順時針固定晶圓。此動作要求:1.快速定位時,馬達(dá)要平穩(wěn),不能抖動,否則吸晶和固晶的位置會不準(zhǔn)確;2.客戶要求每個動作周期盡量的快,東元高壓電機(jī)工廠,由此對伺服的響應(yīng)有較高要求。?通過伺服增益參數(shù)的調(diào)整,終可以實現(xiàn)鍵合臂伺服在3msec內(nèi)完成整定,整個固晶周期為245msec/顆,獲得客戶的認(rèn)可。?伺服參數(shù)設(shè)定:

然而異步電機(jī)由于給定子繞組通電建立旋轉(zhuǎn)磁場,而繞組屬于電感性元件不做功,要從電網(wǎng)中吸收無功功率,對電網(wǎng)沖擊很大。直觀體驗有大功率電感性電器接入電網(wǎng)時,電網(wǎng)電壓下降,電燈亮度一下都降低。因此供電局對異步電動機(jī)的使用會有所限制,這也是很多工廠必須考慮的地方。部分用電大戶如鋼廠、鋁廠等,選擇建立自備電廠,形成自己獨立的電網(wǎng),以減免對異步電動機(jī)的使用限制。所以異步電動機(jī)如果要滿足大功率負(fù)載使用,需配備無功功率補償裝置,而同步電動機(jī)則可通過勵磁裝置向電網(wǎng)提供無功功率,功率越大同步電動機(jī)的優(yōu)勢就越明顯,由此產(chǎn)生了同步電動機(jī)的舞臺。

工藝過程描述如下: 1、封口過程 2、手動真空過程 3、自動真空過程 4、充氣過程。充氣包括2個選擇:充氣1和充氣2,由檔位開關(guān)選擇。充氣過程1:真空->充氣(定時器1控制充氣時間)->封口。充氣過程2:真空->充氣(定時器1控制充氣時間)->真空->充氣(定時器2控制充氣時間)->封口。
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