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分辨率是掃描電鏡基本的性能判斷指標(biāo),首先我們要弄清掃描電鏡分辨率的一些細(xì)節(jié)問(wèn)題。

通常有關(guān)分辨率的問(wèn)題,都會(huì)遵循瑞利判據(jù)。即一個(gè)光點(diǎn)按照衍射理論會(huì)是一個(gè)衍射斑,兩個(gè)光點(diǎn)逐步靠近時(shí),對(duì)應(yīng)的衍射斑也從分離趨于重合。當(dāng)兩個(gè)衍射斑的半高寬重疊,則認(rèn)為不可區(qū)分了。此時(shí)兩個(gè)衍射斑之間的距離即為分辨率,。

但一般單幀圖像的儀器才完全符合此規(guī)律,比如TEM、光學(xué)顯微鏡等。掃描電鏡的分辨率以瑞利判據(jù)為基礎(chǔ),但也卻略有不同。掃描電鏡是屬于電子束移動(dòng)型的,并不完全適用半高寬重合的概念。

掃描電鏡的分辨率分為理論分辨率、驗(yàn)收分辨率,和一般測(cè)試過(guò)程中能達(dá)到的分辨率。

電子顯微鏡是使用電子來(lái)展示物件的內(nèi)部或表面的顯微鏡。高速的電子的波長(zhǎng)比可見(jiàn)光的波長(zhǎng)短(波粒二象性),而顯微鏡的分辨率受其使用的波長(zhǎng)的限制,因此電子顯微鏡的理論分辨率(約0.1納米)遠(yuǎn)高于光學(xué)顯微鏡的分辨率(約200納米)。

透射電子顯微鏡(Transmission electron microscope,縮寫TEM),簡(jiǎn)稱透射電鏡 ,是把經(jīng)加速和聚集的電子束投射到非常薄的樣品上,電子與樣品中的原子碰撞而改變方向,從而產(chǎn)生立體角散射。散射角的大小與樣品的密度、厚度相關(guān),因此可以形成明暗不同的影像,影像將在放大、聚焦后在成像器件(如熒光屏、膠片、以及感光耦合組件)上顯示出來(lái)。

從試樣表面形貌獲得多方面資料。在掃描電子顯微鏡中,不僅可以利用入射電子和試樣相互作用產(chǎn)生各種信息來(lái)成象,而且可以通過(guò)信號(hào)處理方法,獲得多種圖象的特殊顯示方法,還可以從試樣的表面形貌獲得多方面資料。因?yàn)閽呙桦娮酉蟛皇峭瑫r(shí)記錄的,它是分解為近百萬(wàn)個(gè)逐次依此記錄構(gòu)成的,因而使得掃描電子顯微鏡除了觀察表面形貌外,抗性淀粉含量測(cè)試服務(wù),還能進(jìn)行成分和元素的分析,以及通過(guò)電子通道花樣進(jìn)行結(jié)晶學(xué)分析,選區(qū)尺寸可以從10μm到2μm。

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