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標(biāo)準(zhǔn)氣體使用注意事項你知道哪些呢？

取樣氣路的氣密性檢查：

進樣管線的氣密性，進樣管線的泄漏，對標(biāo)準(zhǔn)氣體樣品的數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性有很大影響，對低濃度氧氣的影響更大。所以一定要嚴格檢查取樣管線的氣密性。一般性認為氣路中的壓力大于氣路外面，外面的氣體不會進入氣路中，這種看法是錯誤的。

閥門的選擇：

根據(jù)氣體性質(zhì)選用不同材質(zhì)的閥門，特殊的氣體必須使用特殊的閥門，總體要求死體積小、無吸附、耐壓、有調(diào)節(jié)功能。為了更廣泛的適用于易吸附的、等活潑性氣體，材質(zhì)應(yīng)該選用不銹鋼。

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液態(tài)氦氣可以用于制冷，許多超導(dǎo)實驗都需要使用液態(tài)氦氣進行降溫處理。

液態(tài)氦氣就是在極低溫度下氣態(tài)氦氣轉(zhuǎn)化而來的液態(tài)氦，山西食用二氧化碳配送，簡稱液氦。氦在通常情況下為無色、無味的氣體，沸點-268.785℃，它的沸點是已知物質(zhì)中低的（比氫氣還要低）。所以當(dāng)溫度在4.18K時，氣體氦氣的性質(zhì)同一般液體一樣，加以適當(dāng)?shù)膲毫娃D(zhuǎn)化為液態(tài)氦氣了。實際上液態(tài)氦氣的制作不僅僅需要低溫，要知道氦氣是沒有三相點的物質(zhì)，想要液態(tài)氦氣除了低溫之外，還需要一定的壓力。

液態(tài)氦氣沸點極低，當(dāng)溫度降至2.178K時，就轉(zhuǎn)變?yōu)橐环N粘度接近于零的具有流動性的液氦，此時的液態(tài)氦氣被稱為超流體。

液態(tài)氦氣已實際應(yīng)用在許多晶圓處理程序步驟中，它可在高壓氣相化學(xué)沉積(HP-CVD)以及蝕刻程序上作為晶背冷卻之用，并且它也可用作為攜載氣體應(yīng)用在CVD以沉積抗反射層、氧氮化合物及其它薄膜用。

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氣體檢測儀要經(jīng)常測試和校準(zhǔn)嗎？

不管是采用什么原理檢測的氣體檢測儀，都是用相對比較的方法進行檢測的。當(dāng)氣體檢測儀工作時間變長了以后，受儀器本身傳感器損耗、使用環(huán)境或者干擾氣體的影響，其度勢必會有所下降，這時，為了保證氣體檢測儀的度，對氣體檢測儀的測試和校準(zhǔn)就非常有必要了。

先用一個零氣體和一個標(biāo)準(zhǔn)氣體對儀器進行標(biāo)定，儀器會將得到的標(biāo)準(zhǔn)曲線儲存起來，在氣體檢測儀在被測環(huán)境工作的時候，儀器就會將檢測出來的被測氣體濃度產(chǎn)生的信號與標(biāo)定時儲存的標(biāo)準(zhǔn)曲線進行比較，然后再通過計算得到被測氣體的濃度值。

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