





【科晶化工】廠家今天來為各位介紹一下高純二氧化碳性質(zhì)。
高純二氧化碳在半導(dǎo)體制造中氧化、擴(kuò)散、化學(xué)氣相淀積,蔬菜保鮮,某些反應(yīng)的惰性介質(zhì),石墨反應(yīng)器的熱載體,輸送液體的高純二氧化碳?xì)怏w,標(biāo)準(zhǔn)氣,校正氣,在線儀表標(biāo)準(zhǔn)氣,特種混合氣。
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【科晶化工】廠家今天來為各位介紹一下高純二氧化碳管路的設(shè)計(jì)要點(diǎn):
高純二氧化碳管路中應(yīng)減少不流動氣體的“死空間”,不應(yīng)設(shè)有盲管,在高純二氧化碳的儲氣瓶與用氣設(shè)備之間應(yīng)設(shè)吹掃控制裝置、多閥門控制裝置、用以控制各個閥門的開關(guān)順序、系統(tǒng)吹除,以確保供氣系統(tǒng)的安全、可靠運(yùn)行和防止“死區(qū)”形成而滯留污染物,降低氣體純度。
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高純二氧化碳的純度要求是什么?
高純二氧化碳純度通常要求≥99.9%,且需嚴(yán)格控制有害雜質(zhì):yi氧化碳≤5ppm,硫話氫≤1ppm,②氧化硫≤1ppm,氮氧化物≤2ppm,油分≤5mg/m3,水分≤0.005%。
同時,不得含有致病菌、重金屬等污染物。不同用途標(biāo)準(zhǔn)略有差異,如碳酸飲料用需更高純度,避免影響口感或安全性;食品冷藏用則需控制異味物質(zhì)。
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