萊寶分子泵來電聯(lián)系「在線咨詢」

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廣州潽拓光電科技有限公司

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廣州潽拓光電科技有限公司——萊寶分子泵來電聯(lián)系

Leybold*早將陶瓷軸承應用于分子泵，其rotor設計充分考慮到加工的應力，轉動的葉片和定子之間只有0.1毫米。制造公差達到微米級。在轉速高達每分鐘7.2萬轉時，葉片端部的速度接近超音速。

Leybold TW70LS德國萊寶真空分子泵， Oerlikon TW70LS渦輪分子泵的進氣法蘭口DN63，抽速可達到66l/s 轉速為72000rpm， ?Oerlikon Leybold TW70LS專門用于Leybold 氦質譜檢漏儀。

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萊寶Leybold turbovac MAG W 3200渦輪分子泵

? ?TURBOVAC MAG W 3200 C/CT常用于半導體工業(yè)使用的渦輪分子泵。在半導體工業(yè)，萊寶分子泵來電聯(lián)系，渦輪分子泵用于以下應用場合：- 蝕刻；- 濺射；- 離子注入；- CVD；- 光刻。這些應用中，經(jīng)常需要抽除腐蝕性氣體。需要使用配有吹掃氣體設備的磁懸浮分子泵，以免軸承損壞。尤其對于金屬蝕刻，渦輪分子泵的泵內可能發(fā)生沉積現(xiàn)象，選用帶溫度控制的擴展附件在MAG 1500 C、MAG 2000 C、MAG2800和MAG 3200可以防止這種情況。與機械軸承渦輪分子泵相比，磁懸浮泵的優(yōu)勢在于氣體流量較大時可以防止軸承過熱，能夠有效地防止腐蝕性介質對磁懸浮軸承的損壞。

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德國萊寶分子泵-Leybold TRUBOVAC MAG W 600 iP磁懸浮分子泵

MAGiNTEGRA系列磁懸浮分子泵可靠性高，抽速大，適合大氣載應用。

TRUBOVAC MAG W 600 iP

排氣口：ND 25 ISO-KF

抽速（N2）:550 I/s

極限壓強：1*10-8 mbar

MAGiNTEGRA系列磁懸浮分子泵可靠性高，抽速大，適合大氣載應用。

TRUBOVAC MAG W 600 iP

排氣口：ND 25 ISO-KF

抽速（N2）:550 I/s

極限壓強：1*10-8 mbar

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