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上述討論是渦輪分子泵選用有油的前級(jí)泵工作時(shí)應(yīng)注意的事項(xiàng)。在當(dāng)前研制成功的不同型的干式前級(jí)泵可作為渦輪分子泵的前級(jí)泵時(shí)就解決了有油系統(tǒng)的返流問題，實(shí)現(xiàn)清潔的真空獲得，如能選用當(dāng)前出現(xiàn)的那種從大氣壓一直抽到高真空的新型分子泵工作就更好了。
使用渦輪分子泵時(shí)，通常可不用粗抽管道。如在快速循環(huán)的系統(tǒng)中，不設(shè)粗抽管道，可以選用那些耐大氣沖擊的渦輪分子泵。能直接從大氣壓力下對(duì)真空室進(jìn)行抽真空。
渦輪分子泵具有提供超清潔、無碳?xì)浠衔锏恼婵窄h(huán)境的能力，故常被用戶選用。然而，用戶也偶爾會(huì)發(fā)現(xiàn)渦輪分子泵提供不了不含碳?xì)浠衔锏恼婵窄h(huán)境。經(jīng)調(diào)查發(fā)現(xiàn)碳?xì)浠衔锏膩碓矗?0%是操作失誤所帶來的問題，如渦輪分子泵的前級(jí)泵為油封式旋片泵時(shí)，沒有控制返流的安全閥，不合理的放氣程序都會(huì)引起油蒸汽的返流，不合要求的安全閥也會(huì)引起油污染。

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