復(fù)合分子泵（通常結(jié)合了渦輪分子泵和牽引分子泵）是獲取高真空和超高真空的關(guān)鍵設(shè)備。為確保其長期穩(wěn)定運(yùn)行、延長使用壽命并維持佳性能，定期和規(guī)范的維護(hù)保養(yǎng)至關(guān)重要。

維護(hù)內(nèi)容

1.日常監(jiān)控與記錄：

*運(yùn)行參數(shù)：定期檢查并記錄泵的轉(zhuǎn)速、電流、溫度（泵體和電機(jī)）、冷卻系統(tǒng)狀態(tài)（如適用）以及前級(jí)泵的運(yùn)行參數(shù)（入口壓力、油位等）。任何異常波動(dòng)都可能是潛在問題的信號(hào)。

*振動(dòng)與噪音：注意傾聽泵運(yùn)行時(shí)的聲音是否異常（如摩擦、刮擦聲），并觀察是否有異常振動(dòng)。顯著的變化可能指示軸承磨損或內(nèi)部部件松動(dòng)。

*真空度：監(jiān)控泵所能達(dá)到的極限真空度和抽速，性能下降可能是需要維護(hù)的信號(hào)。

2.定期維護(hù)（視使用頻率和環(huán)境而定）：

*前級(jí)泵維護(hù)：復(fù)合分子泵依賴前級(jí)泵（通常是油封旋片泵或干泵）。必須嚴(yán)格按照前級(jí)泵的維護(hù)要求進(jìn)行換油、清潔油霧濾網(wǎng)/油氣分離器、檢查油位和密封件等。污染或失效的前級(jí)泵會(huì)直接影響分子泵的性能和壽命。

*進(jìn)氣口濾網(wǎng)：清潔或更換泵進(jìn)氣口的防塵濾網(wǎng)（如有），防止大顆?；覊m進(jìn)入泵體。

*冷卻系統(tǒng)：確保風(fēng)冷系統(tǒng)的散熱片清潔無塵；水冷系統(tǒng)需檢查水質(zhì)、流量，防止結(jié)垢或堵塞。

*泵體清潔：保持泵體外殼清潔，避免灰塵堆積影響散熱。

3.維護(hù)（通常由廠家或工程師執(zhí)行）：

*軸承檢查與更換：高速軸承是分子泵的部件，壽命有限。根據(jù)運(yùn)行小時(shí)數(shù)或廠家建議，定期（通常是數(shù)千到數(shù)萬小時(shí)）由人員檢查或更換軸承。

*內(nèi)部清潔：在嚴(yán)重污染（如大量油蒸氣反流、顆粒物進(jìn)入）后，可能需要對泵內(nèi)部進(jìn)行清潔。這通常需要將泵返廠或在嚴(yán)格控制的潔凈環(huán)境下進(jìn)行。

*動(dòng)平衡校驗(yàn)：在更換軸承或進(jìn)行內(nèi)部維修后，通常需要重新進(jìn)行轉(zhuǎn)子的動(dòng)平衡校驗(yàn)。

*密封件檢查：檢查各連接法蘭處的密封圈（O型圈），如有老化、破損或失去彈性應(yīng)及時(shí)更換，確保真空密封性。

操作規(guī)范

*正確的啟停順序：嚴(yán)格遵守“先啟動(dòng)前級(jí)泵，待前級(jí)真空達(dá)到要求后再啟動(dòng)分子泵”的啟動(dòng)順序；關(guān)機(jī)時(shí)則相反，“先停分子泵，待其轉(zhuǎn)速降至安全范圍或完全停止后，再停前級(jí)泵”。避免在低真空下啟動(dòng)分子泵或在高壓差下直接關(guān)機(jī)。

*避免返油：防止前級(jí)泵油或工藝過程中的油蒸氣大量返流進(jìn)入分子泵腔體。

*避免顆粒物：防止大顆粒粉塵或碎屑進(jìn)入泵內(nèi)，以免損壞高速旋轉(zhuǎn)的葉輪。