復(fù)合分子泵是一種結(jié)合了渦輪分子泵和牽引分子泵（或分子拖動泵）工作原理的真空泵。其設(shè)計在于泵體內(nèi)包含高速旋轉(zhuǎn)的多級渦輪葉片組以及螺旋溝槽或盤片結(jié)構(gòu)。

工作原理：

高速旋轉(zhuǎn)的渦輪葉片通過撞擊氣體分子，將其從進氣口推向排氣口，主要作用于高真空和中真空區(qū)域（分子流態(tài)）。后級的牽引結(jié)構(gòu)（如溝槽或盤片）則利用氣體分子與高速旋轉(zhuǎn)表面的粘滯效應(yīng)，將分子“拖曳”至排氣口，特別適用于前級壓力較高（粘滯流態(tài)）的情況。這種協(xié)同作用實現(xiàn)了寬壓力范圍內(nèi)的抽氣。

主要技術(shù)優(yōu)勢：

1.超限真空與潔凈真空：可達到極高的極限真空（通常優(yōu)于1×10??mbar），且泵腔無油污染，提供極其潔凈的真空環(huán)境，對半導(dǎo)體制造、表面分析等至關(guān)重要。

2.寬廣的工作壓力范圍：從大氣壓附近啟動，直至超高真空區(qū)域都能有效工作，減少了配置額外前級泵的需求。

3.高壓縮比：對輕質(zhì)氣體（如氫氣、氦氣）具有出色的壓縮能力，解決了傳統(tǒng)擴散泵的抽氣盲區(qū)問題。

4.結(jié)構(gòu)緊湊，啟動迅速：相比純渦輪泵，對前級真空度要求略低，啟動更快?，F(xiàn)代設(shè)計使其體積更小，易于集成。

5.低維護成本：無油設(shè)計顯著降低了維護成本和污染風(fēng)險。

典型應(yīng)用：

復(fù)合分子泵是現(xiàn)代超高真空和極高真空系統(tǒng)的動力源，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路制造、平板顯示鍍膜、表面科學(xué)分析（如XPS,AES）、粒子、同步輻射光源、空間環(huán)境模擬裝置、真空冶金與材料研究等領(lǐng)域，是支撐前沿科技與制造的關(guān)鍵基礎(chǔ)設(shè)備。