進(jìn)口分子泵作為真空設(shè)備的部件，其性能直接影響真空系統(tǒng)的穩(wěn)定性與可靠性。為確保設(shè)備滿足工藝要求，投入使用前必須進(jìn)行嚴(yán)格的技術(shù)檢測，主要內(nèi)容包括：

1.性能參數(shù)檢測

*極限真空度檢測：在標(biāo)準(zhǔn)測試罩條件下，測量分子泵單獨(dú)運(yùn)行所能達(dá)到的壓力，驗證其抽氣能力是否符合技術(shù)規(guī)格。

*抽速檢測：在不同入口壓力下測定抽速曲線，評估其抽氣效率，確保滿足系統(tǒng)需求。

*壓縮比檢測：針對特定氣體（如氮?dú)?、氦氣），測試入口與出口壓力比值，評估其對輕質(zhì)氣體的抽除能力。

*啟動時間與過載能力：檢測分子泵從啟動到達(dá)標(biāo)轉(zhuǎn)速所需時間，以及在短暫暴露大氣后的恢復(fù)性能。

2.機(jī)械與電氣性能檢測

*振動與噪音檢測：使用振動測試儀與聲級計，在額定轉(zhuǎn)速下檢測振動幅度與噪音水平，評估轉(zhuǎn)子動平衡及軸承狀態(tài)。

*軸承溫度監(jiān)測：運(yùn)行過程中實時監(jiān)控軸承溫升，異常溫升可能預(yù)示潤滑不良或裝配問題。

*電機(jī)電流與功耗：檢測運(yùn)行電流與功率是否穩(wěn)定，異常波動可能反映內(nèi)部摩擦或電氣故障。

*冷卻系統(tǒng)效能：驗證水冷或風(fēng)冷系統(tǒng)能否有效控制泵體溫度。

3.外觀與密封性檢查

*外觀檢查：確認(rèn)外殼無運(yùn)輸損傷，法蘭面光潔平整無劃痕。

*氦質(zhì)譜檢漏：對泵體整體及焊縫、密封接口進(jìn)行高靈敏度檢漏，確保真空密封性達(dá)標(biāo)。

4.控制系統(tǒng)與安全功能驗證

*啟停邏輯測試：驗證控制器指令響應(yīng)及狀態(tài)反饋是否準(zhǔn)確可靠。

*安全保護(hù)測試：模擬過載、過熱、冷卻失效等故障，確認(rèn)安全聯(lián)鎖功能（如自動停機(jī)、報警）正常觸發(fā)。