真空泵的性能指標(biāo)就是其所能達(dá)到和維持的真空度。它本質(zhì)上是指泵入口處氣體稀薄的程度，即氣體壓力低于標(biāo)準(zhǔn)大氣壓（101325Pa）的程度。真空度越高，意味著泵出口處的氣體壓力越低，氣體分子越稀少。

1.定義與表示：

*真空度通常用壓力來表示，單位是帕斯卡（Pa）、毫巴（mbar）或托（Torr）。1mbar≈100Pa,1Torr≈133.3Pa。

*有時(shí)也用“相對壓力”（相對于大氣壓）表示，單位是負(fù)的毫巴（-mbar）或負(fù)的巴（-bar），但壓力是更科學(xué)和通用的表述。

*數(shù)值越小，真空度越高。例如，1Pa的真空度遠(yuǎn)高于1000Pa（即10mbar）。

2.極限真空度：

*這是真空泵在入口完全封閉、無氣體負(fù)荷（即沒有氣體從被抽容器流入）的理想狀態(tài)下，所能達(dá)到的壓力。它代表了泵自身能力的理論極限，主要由泵的設(shè)計(jì)、內(nèi)部泄漏、材料放氣等因素決定。

3.不同的應(yīng)用對真空度的要求差異巨大：

*粗真空(10^5-10^3Pa)：物料搬運(yùn)、真空包裝、簡單脫氣。

*低真空(10^3-10^{-1}Pa)：真空干燥、真空浸漬、普通爐子。

*中真空(10^{-1}-10^{-4}Pa)：真空冶金、冷凍干燥、真空鍍膜（部分）。

*高真空(10^{-4}-10^{-7}Pa)：電子束焊接、真空鍍膜（PVD,CVD）、粒子、空間模擬。

*超高真空(<10^{-7}Pa)：表面科學(xué)、粒子物理、半導(dǎo)體工藝。