

在真空技術領域,真空度(通常以壓強表示,如Pa、mbar、Torr)是衡量系統(tǒng)內(nèi)氣體稀薄程度的指標。磁懸浮分子泵(FMB)憑借其革命性的無接觸磁軸承技術,在實現(xiàn)并維持極高真空度方面展現(xiàn)出性能。
真空度的價值:
真空度是衡量氣體分子密度和平均自由程的關鍵參數(shù)。更高的真空度(更低的壓強)意味著:
1.分子密度極低,碰撞減少。
2.分子平均自由程顯著增長,氣體行為更接近分子流態(tài)。
3.為精密制造(如半導體光刻)、前沿科研(粒子、表面分析)和特殊工藝(鍍膜)提供無污染的純凈環(huán)境。
磁懸浮分子泵通過無油磁軸承技術,克服了傳統(tǒng)機械軸承泵的污染和轉(zhuǎn)速限制,實現(xiàn)了超高轉(zhuǎn)速、零潤滑劑污染、極低放氣率和的極限真空度(常達10^{-8}-10^{-9}Pa)。它不僅是快速獲得高真空的工具,更是實現(xiàn)和維持超高/極高真空這一純凈、無擾實驗與生產(chǎn)環(huán)境的關鍵保障,為現(xiàn)代前沿科技和制造提供了不可或缺的真空基礎。
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