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渦輪分子泵真空極限
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  • 渦輪分子泵是現(xiàn)代高真空和超高真空系統(tǒng)的動(dòng)力源,其極限真空性能是衡量其技術(shù)水平的關(guān)鍵指標(biāo)。理論上,渦輪分子泵的極限真空主要由其壓縮比決定,現(xiàn)代泵對(duì)氮?dú)獾膲嚎s比可達(dá)10^10以上,理論上可達(dá)到極低的壓力(遠(yuǎn)低于10^-10Pa)。然而,實(shí)際應(yīng)用中,渦輪分子泵的極限真空遠(yuǎn)未觸及理論邊界,通常被限制在10^-7Pa至10^-9Pa范圍(甚至更高)。

    渦輪分子泵的理論極限真空潛力巨大,但實(shí)際可達(dá)的極限真空(通常在10^-7Pa至10^-10Pa)是泵自身性能、系統(tǒng)設(shè)計(jì)、材料工藝及操作維護(hù)共同作用的結(jié)果。要逼近其理論極限,必須系統(tǒng)性地材料放氣、微泄漏、前級(jí)污染等現(xiàn)實(shí)瓶頸,其中高溫烘烤和低放氣材料/軸承技術(shù)尤為關(guān)鍵。理解這些限制因素,是設(shè)計(jì)和優(yōu)化高/超高真空系統(tǒng)的基石。

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