渦輪分子泵在使用過程中可能會遇到多種常見故障，以下是對這些故障的歸納：極限真空度低：這可能是由于前級泵的抽氣量不足、系統(tǒng)漏氣或者是泵體出氣等原因?qū)е碌?。解決此類問題通常需要重新選配合適的前級泵、查出并消除漏處或?qū)Ρ眠M(jìn)行烘烤除氣的操作等。運(yùn)轉(zhuǎn)中發(fā)熱和噪音大：如果運(yùn)行中渦輪葉片變形或者軸承潤滑不良可能會導(dǎo)致過熱現(xiàn)象；而轉(zhuǎn)子動平衡不好或者是軸承損壞則可能引發(fā)較大的振動與噪聲問題。對此類故障可以通過避免磁場影響使用隔磁材料以及檢查修復(fù)油路等方式進(jìn)行處理和解決。。?真空度下降?：可能是由于密封性能不佳或內(nèi)部組件磨損。需要檢查密封圈和排氣口是否有問題??氣體泄漏?：可能是由于法蘭連接處密封不良、泵體材料老化或密封圈磨損。需要檢測并修復(fù)泄漏點(diǎn)??過熱?：可能是由于冷卻系統(tǒng)失效或泵體摩擦加劇。需要檢查冷卻系統(tǒng)和清理泵體灰塵??電氣故障?：可能是由于電源故障或控制信號干擾。需要檢查電源和控制系統(tǒng)??轉(zhuǎn)子卡滯?：可能是由于灰塵阻塞或長期未清理。需要檢查并清理泵體?