真空度很好的情況下，Edwards進(jìn)口分子泵油為何會返到前級管道？ 原因：油池裂開或密封不良 解決方法：檢查油池 全文

隨著現(xiàn)在越來越多好的設(shè)備可以被普及使用，在使用Edwards進(jìn)口分子泵以后可以突出的特點也是豐富了很多。現(xiàn)在提到了分子泵機組的使用也是很常見，這款設(shè)備主要是有著不錯的抽速和壓縮比，并且也是可以增加出口.. 全文

封式旋片泵（即油泵）極限真空能到達(dá)10-3mbar，但油泵容易產(chǎn)生返油倒吸的問題，如果沒有控制返流的安全閥，或者不合理的放氣程序都會引起油蒸汽的返流，不合要求的安全閥也會引起油污染，從而導(dǎo)致分子泵提供.. 全文

正常使用下，為什么Edwards真空分子泵油池會出現(xiàn)裂紋或者變形 原因：過熱，負(fù)載大 解決措施：檢查冷卻系，檢查系統(tǒng) 全文