當(dāng)愛德華分子泵維修M2（方框2）或M7的真空度始終沒有到位時(shí)，請(qǐng)檢查旋片泵的電磁閥是否正常工作。 全文

真空泵維修中比較嚴(yán)重的問題是氣密性破壞，抽不到真空的狀態(tài)。我們?cè)谑褂谜婵毡脮r(shí)要對(duì)這方面引起關(guān)注。當(dāng)該故障發(fā)生時(shí)，應(yīng)當(dāng)首先檢查真空系統(tǒng)的氣密性，看是否有輕微漏氣。其次，應(yīng)當(dāng)打開氣鎮(zhèn)，讓泵運(yùn)行30min左.. 全文

萊寶分子泵SOGEVAC系列SV200單級(jí)旋片真空泵，工作原理是滑片泵，高真空度，是廢氣收集真空泵選擇之一。 全文

愛德華分子泵控制器低振動(dòng)：磁懸浮意味著無摩擦，因此振動(dòng)很低，此外這種特性能夠保持不變，并且不會(huì)隨零件磨損而化。 全文