當(dāng)出現(xiàn)警告信息“ EF”時(shí)，檢查冷卻水通道是否暢通，并用機(jī)q進(jìn)行檢查。 在再次打開愛德華分子泵控制器之前，請(qǐng)確保水路暢通。 當(dāng)出現(xiàn)其他報(bào)警信號(hào)時(shí)，嚴(yán)禁再次啟動(dòng)分子泵進(jìn)行后處理。 全文

分子泵是一種用于產(chǎn)生高真空或超高真空環(huán)境的關(guān)鍵設(shè)備，廣泛應(yīng)用于科研、工業(yè)制造和精密儀器領(lǐng)域。其功能是通過物理方式將密閉空間內(nèi)的氣體分子持續(xù)排出，從而將氣壓降至10???至10?11帕的超低范圍，為敏感.. 全文

真空度很好的情況下，Edwards進(jìn)口分子泵油為何會(huì)返到前級(jí)管道？ 原因：油池裂開或密封不良 解決方法：檢查油池 全文

散熱風(fēng)扇斷裂，風(fēng)扇斷裂就無法把泵體內(nèi)的熱氣及時(shí)排除，所以造成了真空泵的溫度升高，這時(shí)就需要更換真空泵的散熱風(fēng)扇。 全文