當(dāng)愛德華分子泵維修出現(xiàn)故障無法使用時(shí)，應(yīng)暫停生產(chǎn)，并在手動(dòng)充滿空氣后更換備用分子泵。 全文

磁懸浮分子泵（MaglevTurboMolecularPump,MaglevTMP）作為真空技術(shù)領(lǐng)域的設(shè)備，憑借其無接觸磨損、超高轉(zhuǎn)速、低振動(dòng)、長壽命、免維護(hù)（無油）等顯著優(yōu)勢(shì)，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、.. 全文

愛德華分子泵控制器每次停機(jī)后，必須清洗每個(gè)分子泵的入口，以保持其清潔，以避免不必要的損壞。 全文

當(dāng)Edwards真空分子泵維修M2（方框2）或M7的真空度始終沒有到位時(shí)，請(qǐng)檢查旋片泵的電磁閥是否正常工作。 全文