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敢問大家，維修Edwards進口分子泵時需要注意什么？
http://www.hk-meigu.cn/ask/5919025.html
  • 當(dāng)Edwards進口分子泵未啟動時，檢查前級泵和電磁閥是否正常工作。當(dāng)分子泵發(fā)生故障時，必須根據(jù)故障提示進行處理。
  • 檢查真空表是不是出現(xiàn)了問題，Edwards進口分子泵出口是否打開，機械泵油是否太臟，機械泵是否旋轉(zhuǎn)，系統(tǒng)是否漏氣。分子泵的葉片或轉(zhuǎn)子也可能損壞。您可以使用自己的工具移動刀片來判斷它是否可以旋轉(zhuǎn)。分子泵加速指示燈不亮。電路板上的保險絲被燒毀了。更換保險絲或檢查是否有短路。
  • 當(dāng)出現(xiàn)警告信息“ EF”時，檢查冷卻水通道是否暢通，并用機q進行檢查。 在再次打開Edwards進口分子泵之前，請確保水路暢通。 當(dāng)出現(xiàn)其他報警信號時，嚴(yán)禁再次啟動分子泵進行后處理。
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