動(dòng)平衡跑掉，現(xiàn)象是運(yùn)轉(zhuǎn)過程噪音高，泵體發(fā)熱，真空度影響不大，但要注意觀察，容易發(fā)生葉片打碎現(xiàn)象；內(nèi)部較臟，特別是制成物堆積過多造成運(yùn)轉(zhuǎn)不暢，導(dǎo)致電機(jī)高負(fù)載，運(yùn)轉(zhuǎn)發(fā)熱； 全文

Edwards真空分子泵故障燈亮。檢查電路板設(shè)置開關(guān)是否在R位置，此時(shí)應(yīng)在N位置。檢查風(fēng)扇是否停止。如果風(fēng)扇正常，可能是分子泵電源故障。請(qǐng)聯(lián)系制造商。 全文

俗話說眼見為實(shí)耳聽為虛，建議您去找?guī)准移瞻l(fā)渦輪分子泵維修的公司考察一下以后再做選擇! 全文

當(dāng)愛德華分子泵維修M2（方框2）或M7的真空度始終沒有到位時(shí)，請(qǐng)檢查旋片泵的電磁閥是否正常工作。 全文